RoHs分析儀是一種檢測ROHS的檢測儀，原理是利用X射線檢測ROHS標準規定中的元素的含量。目前市場上常見的類型是X射線熒光分析儀，又分為能量色散型和波長色散型，能量色散型因其技術原理及結構比波長色散型簡單，現市場上比較常見。
RoHs分析儀技術原理：
放射性同位素源或X射線發生器放出的X射線或Γ射線與樣品中元素的原子相互作用，逐出原子內層電子。當外層電子補充內層電子時，會放射該原子所固有能量的X射線--特征X射線。
不同元素特征X射線能量各不相同，依此進行定性分析;再根據特征X射線強度線強度大小，可進行定量分析。
RoHs分析儀分析原理：
RoHs分析儀就是X射線熒光光譜儀，其分析原理也就是X射線熒光光譜儀的分析原理。波長色散X射線熒光光譜儀使用分析晶體分辨待測元素的分析譜線，根據Bragg定律，通過測定角度，即可獲得待測元素的譜線波長，待測元素的特征譜線需要采用一定的激發源才能獲得。目前常規采用的激發源主要有射線光管和同位素激發源等。
為獲得樣品的定性和定量信息，除光譜儀外，還必須采用一定的樣品製備技術，並對獲得的強度進行相關的譜分析和數據處理。
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